概要|outline

主要装置

装置の利用について

VBLは共同利用教育研究施設であり、電子光関連の装置が設置されています。
VBLでは、これらの装置を学内の教職員の方々に広くご利用いただけるよう、装置ごとに使用責任者を決めて管理をお願いしています。ただし、装置の使用に伴う点検費や維持費については、使用者負担とさせていただいています。装置の使用をご希望の方は、使用責任者にお問い合わせください。

走査型電子顕微鏡(日本電子 JSM-6340F)
室名: 1階「電子・イオンビーム観察加工室」(内線4775)
使用責任者: 坂東 弘之(工学研究院/内線3443)
bando@faculty.chiba-u.jp
X線回折装置(薄膜用)(PANalytical:X'Pert MRD)
室名: 1階「微細構造解析室(I)」(内線4774)
本装置は、共用機器センターの「共同利用機器」としてご利用いただくことになりました。

原子間力顕微鏡(AFM)(SII:SPA300)
室名: 1階「微細構造解析室(I)」(内線4774)
使用責任者: 立木 美奈子(工学部/内線3474)
m_maruo@chiba-u.jp
多元電子ビーム蒸着装置(ビームトロン)
室名: 1階「複合薄膜作成・観察評価室」(内線4772)
使用責任者: 松末 俊夫(工学研究院/内線3441)
matsusue@faculty.chiba-u.jp
プラズマCVD薄膜製造装置(サムコ: PD-220N)
室名: 1階「試料準備室」(内線4771)
使用責任者: 坂東 弘之(工学研究院/内線3443)
bando@faculty.chiba-u.jp
ナノ構造作製・加工用プラズマ装置(サムコ:RIE-200IP ロードロック式ICP-R2E装置)
室名: 1階「試料準備室」(内線4771)
使用責任者: 坂東 弘之(工学研究院/内線3443)
bando@faculty.chiba-u.jp
フェムト秒レーザー分光システム(Spectra Physics:fsパルスTi:サファイアレーザーシステム( Millenia V,Tsunami), GWU高調波発生器/浜ホト:C4334ストリークカメラ)
室名: 2階「フェムト秒レーザー解析室」(内線4788)
使用責任者: 森田 健(工学研究院/内線3360)
morita@chiba-u.jp
露光描画装置付走査電子顕微鏡(日立 S-4300SE)
室名: 2階「微細パターン感光加工室」(内線4783)
使用責任者: 松末 俊夫(工学研究院/内線3441)
matsusue@faculty.chiba-u.jp
マスクアラインメント装置(ミカサ㈱:MA-20型)
室名: 2階「微細パターン感光加工室」(内線4783)
使用責任者: 石谷 善博(工学研究院/内線3330)
ishitani@faculty.chiba-u.jp
透過型電子顕微鏡(日立ハイテク H-7650)
室名: 3階「微細構造解析室(2)」(内線4793)
本装置は、共用機器センターの「共同利用機器」としてご利用いただくことになりました。
顕微ラマン分光装置(日本分光 NRS-2100)
室名: 3階「ラマン分光解析室」(内線4794)
使用責任者: 一國 伸之(工学研究院/内線3380)
ichikuni@faculty.chiba-u.jp
走査型電子顕微鏡(日本電子 JSM-6335F)
室名: 3階「X線微細構造解析室」(内線4791)
本装置は、共用機器センターの「共同利用機器」としてご利用いただくことになりました。
【お知らせ】電界放射型走査電子顕微鏡(FE-SEM)の利用について PDF
X線吸収端分析装置(テクノス EXAC820)
室名: 3階「X線微細構造解析室」(内線4791)
使用責任者: 小西 健久(理学研究院/内線2780)
konishi@faculty.chiba-u.jp
デジタルマイクロスコープ(キーエンス VHX-5000)
室名: 3階「微細構造解析室(3)」
使用責任者: 星野 勝義(工学研究院)
k_hoshino@faculty.chiba-u.jp
問い合わせ先: VBL事務室 駒井(内線3992)
komai@office.chiba-u.jp
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